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LMG2A系列直线电机

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点击次数:857 更新时间:2019年10月19日10:45:05 打印此页 关闭

特征


应用



最大行程4m x 4m 
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰 
Z
向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s 
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率最低可达50nm

半导体设备
自动化搬送
FPD
设备
太阳能制造设备
PCB
设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI
检测设备
工具机


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