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特征
应用
最大行程4m x 4m 以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止噪声干扰 Z向震动可达奈米等级以下最大速度可达5m/s 标准重现精度1um或以下位置回馈系统分辨率最低可达50nm
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